用于紫外激光或yag激光的半反射镜。
备有从真空紫外到红外的众多波长的系列产品。
正面有多层电介质膜，反面有防反射膜，几乎没有光量的损失。
有不使光束产生变形的平行平面型，和因反面反射产生鬼影或干涉的影响很少的楔型两种。
由于是平板型半反射镜，透过基板时产生的波长分散或色差很小，重量也可以减轻。
指标
适用波长
157nm
外径 φd
φ30mm
厚度 t
3mm
材质
caf2
平行度
楔形角 w
＜3′
反射率 r
透过率 t
r=40±10%
激光损伤阈值※
0.5j/cm2
※激光脉冲宽20ns，重复频率20hz
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梁榆
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