全自动线宽影像测试仪技术概要
1.产品特点
具有快速对焦、自动寻边、强大的编程和自动测量功能采用亚像素细分技术，提高图像边界分辨能力操纵杆/鼠标操作，方便易用程控恒流驱动式八区表面冷光源，可适应复杂的工件测量激光指示器指示测量位置，方便快速定位在线spc数据处理分析，大批量治具测量功能三轴伺服控制，定位精度高速度快，xy速度可达150mm/s，运行平稳自主开发的嵌入式模块控制系统，将复杂的控制系统集成在仪器内部，稳定性更高采用花岗石底座，性能稳定，不易变形配mcp简易测头，可做简单三维测量
2.全自动线宽影像测试仪规格参数
仪器型号
pz-3020c
工作台
玻璃台尺寸（mm）
506*356
运动行程（mm）
300*200
仪器重量（kg）
200
外形尺寸（mm）
800*590*1620
z轴升降行程
200 mm
x、y、z数显分辨力
0.5μm
工作距离
92 mm
x、y坐标示值误差
(2.5+l/100) μm (l为被测长度，单位：mm)
影
像
系
统
摄像机
高清晰工业级ccd彩色摄像机
变倍镜头倍率
0.7x—4.5x
物方视场
8.1mm～1.3mm
视频倍率
20~128x
光源系统
表面光源与透射光源均用led，亮度可调
3.关键配置清单
序 号
名 称
规格品牌
数 量
单位
备 注
1
主机
工作台采用00级天然大理石
1
套
含光学玻璃
2
电脑
联想品牌电脑
1
台
含显示器，键盘，鼠标
3
软件
inspect3d软件
1
套
含加密锁，光盘，说明书
4
运动控制盒
uwc3500
1
套
配操纵手柄
5
光栅尺
配全封闭玻璃光栅尺
3
pcs
6
导轨
z轴配hiwin高精度直线导轨
2
付
工作台配高精度v型导轨
7
丝杆
台湾tbi研磨级丝杆
3
pcs
8
马达
uwc伺服马达
3
pcs
9
变倍镜头
pms手动变倍镜头
1
pcs
10
摄像机
1/2 ccd相机
1
pcs
11
表面光
八区程控光源
1
pcs
12
校正片
公司定制
1
pcs
`13
视频卡
中安视频卡
1
pcs