psd是利用离子注入技术制成的一种可确定光的能量中心位置的结型光电器件，它的优点主要有：1、对光斑形状无严格要求，在光聚焦不理想的情况下也不影响测量精度；2、光敏面上无象限分割线，消除了测量死区；3、对光斑位置可连续测量。4、测量精度高，一维精度可达0.2um。本方案选取的psd为二维的，光的能量中心位置以“x轴，y轴”的坐标值显示（如图1所示），测量精度为±15 um。计入其他误差后检测精度为±0.02mm。
软件功能
1、数据采集
在设备工作时，测量软件将同步采集psd传感器的“x轴、y轴”坐标值和角度传感器的角度值两组数据。
2、检测点的数量设置
根据检测需要，用户应提前确定检测点的数量建议设置为5个点或7个点。
3、软件的计算方法
测量点的坐标取完后，软件可根据国家标准《直线度误差检测》的数据处理方法：连线法、反向消差法或其他方法进行计算，具体方法可双方商定。
4、测量软件的主界面
下图界面为我公司为其他客户生产的直线度检测仪的软件界面，本方案实施时可根据贵公司要求的点数或其它功能对界面进行相应的更改。
5、报警功能
可分别直线度误差和同轴度误差的允许，当测量值超出允许允许值时系统报警。
6、数据存储功能
每次检测都将把检测结果存储到系统硬盘内，存储时间为1年。存储的文件格式为jpeg格式。
直线度测量仪不仅稳定性好、精度高，而且还具备软件分析系统，实现直线度的在线检测，同时还可以用于同轴度测量，是直线度测量的测量精度得到进一步提高。
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