- 加工定制:是
- 特性:半导体陶瓷
- 功能:电真空陶瓷
- 提供加工定制:是
- 微观结构:多晶
- 规格尺寸:
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一、产品简介 热解氮化硼(pbn)属于六方晶系,为先进陶瓷材料,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(cvd)而成,既可以制备pbn板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等pbn最终产品。
二、主要特点 它与普通的热压氮化硼(bn)不同,不必经过传统的热压烧结过程,不添加任何烧结剂,因此获得的产品具有如下显著特点: (1) 无毒、无味; (2) 纯度高,达到99.999%以上; (3) 室温下与酸、碱、盐及有机试剂不反应,在熔融的盐、碱液中略腐蚀,但能抗高温下各种酸的腐蚀; (4) 与大多数熔融金属、半导体及其化合物不反应; (5) 在1000℃以下,抗氧化性能良好; (6) 抗热震性能良好,2000℃投入水中未见裂纹; (7) 使用温度高,无升华点,在3000℃以上直接分解为b和n; (8) 电阻高,电绝缘性能好; (9) 表面光滑,无气孔,与大多数半导体熔体不湿润。 三、产品应用 (1) oled 蒸发单元 (2) 半导体单晶生长(vgf、lec)坩埚 (3) 分子束外延(mbe)蒸发坩埚 (4) mocvd 加热器 (5) 多晶合成舟 (6) pbn红外窗口 (7) 卫星通讯微波管 (8) pbn涂层载盘 (9) 高温、高真空设备绝缘板
北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
张仁
18600582846
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