保障产品的高收益及高真空度。
开发了横向型，纵向型升华设备。
保障在业界拥有较好水平的截面温度均一性。
可根据客户需求制定真空室的直径：50，80, 100, 120, 150, 200, 250, 300, 400, 500(mm)。
拥有供应多台r&d设备（50mm～120mm ）的业绩： 50台以上。
拥有供应多台量产型设备（200mm～300mm ）的业绩：50台以上。
有多种真空泵的组合模式： rotary pump + diffusion pump ; dry pump + turbo pump; dry pump + cryo pump。