teledyne公司的dv-4和dv-6热电偶真空计管,生产具有优异的稳定性,准确性和在最苛刻条件下的可靠性真空测量设备。这些真空传感器校准的氮气或空气,对其他气体换算系数是由工厂提供。
vt系列测量仪表需单独购买:vt4系列, vt5系列, vt6系列
dv-6
teledyne hastings热偶规管真空计dv-4d
特性
•现场使用的可靠性 •量程- 0.001托- 1托 (1 - 1000毫托) •控制点可选
附件
•nist的的溯源的仪表校准规管 •快速连接 •装置和过滤器 •延长电缆
应用
•研究与开发 半导体工艺 •等离子镀膜/溅射 •低温罐/杜瓦瓶 •真空炉 •二次灌注气瓶 •负载锁 •照明/霓虹灯招牌 •化学加工
热偶规管(传感器)
规格
dv-4 系列热偶规
dv-5 系列热偶规
dv-6 系列热偶规
配置测量器/读数仪
vt-4
vt-5
vt-6
仪表校准规
db-16d
db-18
db-20
量程
0.01 - 20 torr (100 - 20,000 mtorr)
0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr)
0.001 - 1 torr (1 - 1,000 mtorr)
最敏感区间
0.2 - 5 torr (200 - 5000 mtorr)
0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr)
0.001 - 1 torr (10 - 200 mtorr)
响应时间(秒)大气压- 0
0.16
25
2.9
响应时间(秒)0 – 大气压
0.04
0.8
0.06
系列成员
标准型
dv-4d
dv-5m
dv-6m
加固型
dv-4r
-
dv-6r
vcr
dv-4d-vcr
dv-5m-vcr
dv-6m-vcr
vcrl (长)
-
-
dv-6m-vcrl
kf-16
dv-4d-kf 16
-
dv-6m-kf16
kf-25
dv-4d-kf 25
-
dv-6m-kf 25
小型 conflat
-
-
dv-6m-cf
高温型
dv-34
-
dv-36
加固/抗震带室外防护壳
-
-
dv-6s
耐热玻璃
-
-
dv-20
约重
0.1-0.2 lbs(45-91g) 根据不同型号
0.1-0.2 lbs(45-91g) 根据不同型号
0.1-0.3 lbs(45-13.6g) 根据不同型号
nall系列质量流量计 量程从0-10 sccm至0-14,000slm 特征: ◆ 耐高温到200摄氏度 ◆ 不锈钢结构 ◆ 防腐蚀蒙乃尔可供选择 ◆ 满量程范围:0-10 sccm至0-14,000slm ◆ 工作压力到1000psig ◆ 密封传感器 ◆ 15段流量范围 ◆ 20%温度或压力变化无需校正 ◆ hastings原创质量流量测量器 精度:±1%量程(压力和温度变化20%)线性度:1%量程重复精度:±0.25% 满量程温度:气体温度-20°c至 100°c,转换器和指示器的环境温度0°c 至 40°c电源:115伏交流电,50/60赫兹- 15瓦。对于230伏,电源型号添加“e”字的输出:0-5伏直流负载2000欧姆或更大。材质:316ss,或者蒙乃尔铜镍合金,金/镍钎焊校准:直读是空气。订购时可以选择氧气、氮气、氦气、二氧化碳、等其他气体校准响应时间:
teledyne hfm/hfc -d-300流量计
300 - d系列质量流量仪器,量程从0-5 sccm至0-3,000slm;使用全金属密封,提供模拟输出,且采用不锈钢构造。质量流量控制器为常闭阀门。腐蚀性气体(除卤素外),压差达1000 psig中(选项)可轻松测量。 传感器,阀门和流量过载等自我诊断功能都包括在数字特征里面。同样值得关注的是自动归零特点,当发现阀门关闭时会自动重置零点。此系列质量流量计和控制器,最多可以存储10个不同的量程范围和气体的校准数据。当测量同数量级(流速,分子量)不同的气体,改变气体时,本仪器具备经济优势和更高效率。另一个特点是内置的累加器,用于监测用户设置的条件下气体损耗量。 特征: •+/-(0.5%读数值+ 0.2%满量程)为0 - 2,500slm •经验证的可靠性 •量程5 sccm至3,000slm(氮气) •nist可溯源校准 •内置积算器 •自动归零 应用: •大学研究 •泄漏检测 •气相沉积 •制药制程 •研发和制程流量 •半导体工艺 •气体混合 •热火焰喷涂 •真空应用中的关键配件 300-d系列质量流量计和控制器规格(基于氮气) 标准温度和压力- 0 ° c和760torr [table] [tr] [td] 规格 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-300 hfc-d-302 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-301 hfc-d-303 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-305 hfc-d-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 使用手册 [/td] [td] hfm-d-300 / hfc-d-302 [/td] [td] hfm-d-301 / hfc-d-303 [/td] [td] hfm-d-305 / hfc-d-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 量程 [/td] [td] 0-5 sccm 到 0-25,000 sccm [/td] [td] 0-25 slm 到 0-1000 slm [/td] [td] 0-1000 slm 到 0-3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 精度 [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) +/-2% 满量程for 2,500 - 3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 重复精度 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [/tr] [tr] [td] 标准工作压力 [/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [/tr] [tr] [td] 压力系数 [/td] [td] +0.01%/psi(约6800pa)读数值 (0-50 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.01% 读数值/ps(约6800pa)i (0-1000 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.015%/psi(约6800pa)(0-500 psig n2) [/td] [/tr] [tr] [td] 耐压选项 [/td] [td] 1000 psig (测试达到1500 psig) [/td] [td] 1000 psig [/td] [td] 无 [/td] [/tr] [tr] [td] 温度系数 [/td] [td] 零点