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中海德（福建）工业设备有限公司是一家全球性贸易工业自动化系统工程技术开发，销售欧美各类自动化产品高新技术企业。与国外800多家知名工控厂商建立良好合作关系，通过我们提供系统方案和产品为客户创造了良好的效益和价值。公司位于福州市高新区乌龙江大道正荣财富中心b座八层，拥有一批专业的高素质工控系统设计和安装技术 工程师，为客户提供整体的解决方案。
dcs集散式控制系统、plc可编程控制器、数控系统、测量传感器、高压开关柜、控制柜、变频柜、模块、 卡件
公司销售各类工控产品主要为：数控设备伺服驱动器与伺电机、汽车企业机器手臂备件、电厂钢厂dcs系统备件、污水厂流量计、工业触摸屏等。
我们的优势产品： 系列触摸屏
二：西门子数控类6sn系列与工控机类6fc5，
三：施耐德：140系列模块与tsx模块，
四：abb机器人：dsqc 3hac，及abbdcs系统模块。
主营产品：变频器、电源、线缆、cpu 、控制器、 dcs plc 、 机器人备件、 驱动等。
联系人 06971 9960
公司地址：福州市高新区乌龙江大道正荣财富中心b座八层
图3 mems磁传感器主要部分的顶视图和4个压敏电阻组成的惠斯登电桥
langfelder等制备了具有电容读出的mems磁场传感器，该传感器可检测与谐振结构表面垂直方向（z轴） 的磁场。它由一组固定定子和两根细梁悬挂的梭子组成，形成2个差分平行板敏感电容器c1和c2，见图4。具有传感器共振频率的梁，在通有电流时与磁场相互作用，从而使2个细梁受到洛伦兹力作用。这个力垂直于磁场和交流电流所构成的平面，导致梁和平行板产生位移，该位移可以通过差分电容的变化来检测。传感器在峰值驱动电流为250 μa时的总灵敏度为150 μv·μt^（-1）、理论噪声为557. 2 μv·hz^（-1/2）、分辨率为520 nt·ma^（-1）·hz^（-1/2）、品质因子约328、共振频率为28.3 khz。
m. li等设计了由弯曲梁谐振器（1200 μm x 680 μm x 40 μm）组成的磁场传感器。弯曲梁谐振器与载有电流的si梁通过微杠杆机制耦合，谐振器借助弯曲梁的每一侧的30个叉指电极实现静电驱动和电容感应，获得传感器的灵敏度为6687 ppm·ma^（-1）·t^（-1）、品质因子为540、谐振频率为21.9 khz （1 ppm = 10^（-6）） 。
aditi等通过采用soi和玻璃片的阳极键合技术制备了mems磁场传感器。该器件制作工艺具有以下优点：低温（≤400 ℃） 、可靠、可重复、少的光刻步骤及可控电极间距离的能力。获得传感器功耗为0.45 mw，分辨率为215 nt·hz^（-1/2）。
b. park等设计了由硅谐振器和紧凑型激光定位系统构成的磁场传感器，如图5所示。该系统具有光电探测器和激光二极管，用于监测电流偏置的反射镜角位移。谐振器由涂覆有铝层（2500 μm x 2500 μm x 0.8 μm）的硅膜（3000 μm x 3000 μm x 12 μm）组成，膜由两根扭转弹簧（2100 μm x 100 μm x 12 μm）支撑，宽度为30 μm、厚度为0. 8 μm的铝线沉积在其上。施加的磁场与反向镜的位移有关，当线圈偏置电流为50 ma时，获得传感器的灵敏度为62 mv·μt^（-1）、共振频率为364 hz、品质因子为116、53 mhz带宽的分辨率为0.4 nt、本底噪声为1. nt·hz^（-1/2）。
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