项目名称：自动叠层测量仪、膜厚测量仪及沟槽深度量测设备
项目编号：0613-194022150485
招标范围：自动叠层测量仪、膜厚测量仪及沟槽深度量测设备 共5台
招标机构：上海机电设备招标有限公司
招标人：中芯集成电路制造(绍兴)有限公司
开标时间：2019-03-13 09:30
公示时间：2019-03-13 16:46 - 2019-03-18 23:59
中标结果公告时间：2019-03-19 19:46
中标人：kla-tencor？corporation
制造商：kla-tencor corporation
制造商国家或地区：美国
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