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三维表面形貌测量传感器技术参数

2019/3/13 3:16:09发布63次查看

r25三维表面形貌测量传感器的技术参数：
最大测量倾斜角：87°
最大扫描高度：25mm
最小测量楔角：20°
最小测量半径：2µm
最小测量粗糙度(ra):80nm
最小测量粗糙度(sa):50nm
垂直分辨率：20nm
位移距离（z）：26mm（自动调节）
三维表面形貌测量传感器if-sensor r25 是奥地利alicona公司专门针对生产中全自动测量形貌和粗糙度而设计的一款光学三维测量仪。 
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