化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如c3h8等）为碳源的材料表面或基体等温cvd/cvi处理。  
技术特征
可根据客户需求设计尺寸，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；
采用多温区独立控温，温度均匀性好；
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
 
主要配置
炉门：铰链回转式/台车平移式；手动锁紧/自动锁圈锁紧      
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/cfc   
加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；手动阀/自动阀；进口/国产    
真空泵和真空计：进口/国产 
人机界面：模拟屏/触摸屏/工控机     
plc：欧姆龙/西门子
控温仪表：日本岛电/英国欧陆   
热电偶：c分度号/s分度号/k分度号/n分度号
记录仪：无纸记录仪/有纸记录仪；进口/国产   
电器元件：正泰/施耐德/西门子
料车：滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
 
产品规格

---

湖南顶立科技有限公司销售部1249276
羊桥
18874256050
湖南省长沙市暮云工业园内