本公司供应真空烤盘炉,本设备为一种新型的真空烤盘炉,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:n2,h2)。 主要用于有效清除mocvd承受器(sic涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提到制品质量的目的。
产品优势
1、价格优势
2、高效的清洗杂质能力,大大延长了承受器的使用寿命。
3、独特的系统设计,全自动化的操作方法。
4、提供快速反应的优势客服并有大量led客户安装的丰富经验 如有需要,请联系!
艾姆塞特(北京)国际贸易有限公司
Wen
18600000000
江西省萍乡市公园路御景园1栋812室