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最小可分辨磁场大小为36 nt。
3、展望
目前基于lorentz力的mems谐振式磁传感器主要通过压阻、光学和电容感测技术来检测磁场。这些技术可为设计人员提供研制特定应用场合的 传感器方法，例如，压阻感测适于采用体微加工工艺实现和简单的信号处理系统。但压阻感应存在电压偏移，且电阻易受温度影响，因此系统中需要提供温度补偿电路。电容感测主要通过表面微加工工艺实现，并将所施加的磁场转换为电输出信号。该技术具有很小的温度依赖性，并允许电子电路与磁传感器制作在同一芯片上。通常，电容感应的传感器在大气压下具有高的空气阻尼，为避免它的影响需要对器件进行真空封装才能提高其灵敏度。利用光学敏感技术制备的传感器由于具有抗电磁干扰的特性，因此系统中所需要电路比电容和压阻敏感技术的少，可在恶劣环境中工作，表面和体微加工工艺均适用于这种传感技术的优点。然而，这些感测技术都存在着由于焦耳效应而导致传感器结构发热的问题，这会产生热应力和谐振器的位移。为此，需要进一步对器件散热、谐振器机械可控性及真空封装研究，以确保获得更好的mems磁传感器性能。
随着微纳米技术的发展、微机械制造技术的成熟，越来越多的传感器开始向着集成化、智能化和网络化方向发展，它们已成为工业生产实现智能制造的重要动力。其智能应用主要在如下几方面：
（1） 传感技术。构建传感器网络系统，保证对信息进行搜集、整合与传输，使工业生产过程得到更有效的控制。
（2） 数控生产。总主线模式通过在线诊断，实现对整体工业生产线的仪表控制。
（3） 自动生产和机械。利用自动化技术开展机械生产，可显著提高生产效率和质量。
4、结束语
本文综述了通过体加工和表面加工方法、利用压阻、电容和光学技术制备的基于洛伦兹力的mems磁传感器，并介绍了各种结构磁传感器的灵敏度、品质因子、噪声和探测极限等特性。随着纳米技术、集成化技术以及封装技术的不断发展，更多高性能、同时可监测多个物理量的智能传感器会不断出现。
此前有报道称微软正在研究一款更薄更轻的surface pro设备。而现在有一项新专利显示微软将为surface平板电脑、二合一设备、可穿戴设备，手持设备等带来智能织物。据麦姆斯咨询介绍，在专利申请中，微软解释了使用传感器创建智能织物的各种方法，这些方法可以在surface硬件，可穿戴设备和其他手持设备上实现。
据外媒报道，根据特斯拉一份新专利申请，特斯拉目前正在研究一种新方法，可根据体重对乘员进行分类，以便在其车辆上部署更安全的安全气囊。特斯拉该
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