电子全站仪中包含了电子测角系统、电子补偿系统、光学系统、外设支援系统。全站仪的应用是地面测量技术进步的重要标志之一。其能够实现自动记录、存储以及具备某些固定计算程序的功能，实现了测量与数据一体化。电子全站仪在发展过程中，最早的时期体积大，需要投入较多的经济成本，虽然具有一定应用优势。但是由于各种阻碍因素的存在导致推广起来有一定限制。20世纪80年代，借助集成电路、半导体等元件性能不断提升，使得电子全站仪进入到一个快速发展阶段，最终变成小巧、轻便、价格实惠，在小面积范围测量、隐蔽工程测量、施工放样等多个领域中展现出良好的数据采集功能。
全站仪的三脚架分为金属和木制的两类，一般来说，金属质量轻，携带方便，因此得到许多测量人员的青睐。但是，质量轻带来的不利影响是产生的振动大，会使测量精度受影响。所以，最好选择稳定性更好的木制三脚架。如果架设仪器的地方十分光滑，为了防止仪器侧滑，可以使用细绳将三只脚连起来。
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