超声波铣削加工中，工具在超声波高频振动的同时，还做旋转运动，同时在cnc 系统的控制下，每层做x、y 两个方向的进给运动。磨料颗粒在工具三种运动的综合作用下，不断地锤击、冲击、抛磨和刮擦硬脆材料的工件表面。当工具、磨粒和工件没接触的时候，材料的去除主要是靠磨粒冲击作用，工具旋转运动的作用比较弱：而当三者接触后，磨粒直接作用于工件表面上，随着加工的进行，一部分磨粒由于工具压力的作用，使之压入工具中，露出的部分刻划工件的表面，在工具旋转运动的作用下，划过圆形轨迹，在工件表面形成弧形凹痕。另一部分磨粒则在工件与工具之间发生滚动，产生滚轧效果，使工件表面产生微裂纹，裂纹扩展后使工件表面产生脆性崩碎形成切屑。
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