- 加工定制:是
- 品牌:科探仪器设备
- 类型:实验室专用
- 提供加工定制:是
- 型号:KT
- 别名:PECVD模块
- 适用范围:为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD),
- 炉膛最高温度:详询
- 工作温度:详询
- 装载量:详询
- 工作室尺寸:详询
- 外形尺寸:详询
- 规格:详询
郑州科探仪器设备有限公司 - 品牌介绍技术实力雄厚 品牌质量保证
111
111
1111
郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为最受老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术专利10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、cvd供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
111
111
111
11
郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数国家重点实验室 及科学院校,科探仪器已经成为最受老师 同学欢迎和信任的品牌之一
公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术专利10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!。
目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉、cvd供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等,主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。
公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。
1
pecvd简介
联系:
联系人:李工
qq:760625767
pecvd是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单,与传统cvd系统比较,生长温度更低,管辉光均匀等效,薄膜均匀沉积。
信号频率
13.56mhz±0.005%
功率输出范围
0-500w
功率稳定度
≤5w
谐波分量
≤-50 dbc
供电电源
单相50/60hz 220v±10%
整机效率
≥70%
电源冷却方式
风冷
耦合方式
电感式耦合
射频线圈规格
长度210mm 内径根据客户炉管订做
可扩展炉管直径
φ25-φ150
郑州科探仪器设备有限公司
技术顾问
15286826848
河南省郑州市高新技术开发区长椿路11号国家大学科技园C1F2楼