一、芯片超纯水设备概述
芯片是现代电子高科技发展的产物，随着经济的飞速发展，芯片将广泛应用于各个领域中。超纯水设备是清洗芯片必不可少的设备。超纯水设备是将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成edi单元。
一定数量的edi单元间被网状物隔开，形成浓水室。在单元组两端设置阴/阳电极，在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别在淡水室中去除穿过离子交换膜进入到浓水室，通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水的设备。
二、芯片超纯水设备工艺流程
1、机械过滤器
它是利用石英沙作为过滤介质，在一定的压力下把浊度较高的水通过一定厚度的粒状或非粒的石英砂过滤，有效的截留除去水中的悬浮物、有机物、胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子等，最终达到降低水浊度、净化水质效果的一种高效过滤设备。
2、活性炭过滤器
活性炭过滤器的作用主要是去除大分子有机物、铁氧化物、余氯。这是因为有机物、余氯、铁氧化物易使离子交换树脂中毒，而余氯、阳离子表面活性剂等不但会使树脂中毒，还会破坏膜结构，使反渗透膜失效。
3、钠离子交换器
自然生水，地下井水，含有大量的由钙(ca+)和镁(mg+)离子形成的盐类。经过钠离子交换器可以去除绝大部分钙(ca+)和镁(mg+)离子，从而使水软化，保护滤芯反渗透膜。
4、精密过滤器
主要用在多介质预处理过滤之后，反渗透、超滤等膜过滤设备之前。用来滤除经多介质过滤后的细小物质(例如微小的石英沙，活性炭颗粒等)，以确保水质过滤精度及保护膜过滤元件不受大颗粒物质的损坏。
5、反渗透膜
原理是在高于溶液渗透压的作用下，依据其他物质不能透过半透膜而将这些物质和水分离开来。反渗透膜的膜孔径非常小，因此能够有效地去除水中的溶解盐类、胶体、微生物、有机物等。
6、edi设备
edi，又称连续电解除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阴、阳离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生。
6、抛光混床
抛光树脂一般用于超纯水处理系统末端，保证系统出水水质能够维持用水标准。一般出水水质都能达到18兆欧以上，以及对toc、sio2都有一定的控制能力。抛光树脂出厂的离子型态都是h、oh型，装填后及可使用无需再生。