结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。
● 奈米深度3d检测
● 高速/无接触量
● 表面形状/粗糙度分析
● 非透明/透明材质皆适用
● 非电子束/非雷射的安全量测
● 低维护成本
专业级的3d图形处理与分析软体（post topo）
●  提供多功能又具亲和接口的3d图形处理与分析
●  提供自动表面平整化处理功能
●  提供高阶标准片的软件自校功能
●  深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●  线型分析方式提供直接追溯iso定义的表面粗糙度（rorghness）与起伏度
●  （waviness）的测量分析。可提供多达17种的iso量测参数与4种额外量测数据（wafer）
●  区域分析方式提供图形分析与统计分析。
●  具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（fft）处理功能。
●  量测分析结果以bmp等多种图形档案格式输出或是excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解体软体(imascan)
● 系统硬件搭配imgscan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10x、20x、50x倍率的物镜可供选择
● 平台xyz位置数显示，使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得最佳的干涉条纹对比。
● 具有高精度的pvsi与高速vsi扫描测量模式供选择。
● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3d形貌。
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向

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周生
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