产品名称：大功率逆变磁控电源
产品型号：
品信息：
设备原理：
   为应对核工业及高端军事工业需求，针对普通离子磁控溅射难以对复杂几何形状及大尺寸零件表面均匀镀膜、效率低、附着率不高、易产生液滴从而导致薄膜质量较差的现状。核工业某研究所在磁控溅射离子镀的基础上，将气体放电从正常辉光放电区向异常辉光放电区过渡，开发了超弧离子镀技术。
    我公司引进的超弧大功率逆变磁控电源以快速开关控制正负电极放电，利用高频脉冲电压，造就强电子通量、低气体阻抗环境，将气体放电引入强辉弱弧的状态。对于正常辉光放电区向异常辉光放电区的过渡时，加强靶电压与电流密度，使气体的阻抗下降，逐渐产生强烈的光亮，增大单位体积内电子流的瞬时通量，将气体放电从高电压、低电流密度的辉光区引入接近弧光区的具有反欧姆特性的低电压、高电流密度的临界状态。此技术可以实现类似于磁控溅射镀膜技术的“级联弹性碰撞”，同时也伴随着类似于多弧镀的“热发射”过程，使得镀膜优势得以明显体现。
  从传统磁控溅射之异常辉光放电区进入电弧放电区，电流密度可达10的19次方/立方米，比传统磁控溅射高三个量级，离化率更高达70%-100%，可轻易沉积各种高端膜层，附着力强。几乎不用改变原来镀膜设备，可直接更换电源即可。
设备主要特点
dsp全数字控制，自动化程度高
具有过流、过压、超温保护
全逆变设计，大功率igbt功率模块为主要器件，脉冲输出有较强的冲击力，单脉冲功率可达mw级
主要参数
1、       输入电压：380v±5％，50hz，三相交流；
2、       输出电压：100v-4000v，脉冲电压；
3、       输出电流：100a-2000a，脉冲电流；
4、       输出脉宽：5-2500us，可设定；
5、       频率：30hz-50khz，可选择范围；
6、       输出功率：10kw  20kw  30kw  40kw  50kw

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东莞市恒核机电科技有限公司

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