2英寸sic晶体产品规格说明
产品
4h-sic & 6h-sic
等级(grade)
grade i
grade ii
直径(diameter)
50.8 mm±0.38 mm
厚度(thickness)
330/430μm±25μm orcustomerspecification
主定位边方向(primaryflatorientation)
perpendicular to <11-20>±5.0°
主定位边长度(primaryflatlength)
15.88 mm±1.65 mm
次定位边方向(secondaryflatorientation)
90°cwfrom primaryflat±5.0°
次定位边长度(secondaryflatlength)
8.0 mm±1.65 mm
正角晶片方向(on axiswaferorientation)
{0001}±0.25°
偏角晶片方向(off axiswaferorientation)
4.0°toward<11-20>±0.5°
8.0°toward<11-20>±0.5°
边缘(edgeexclusion)
1.0 mm
总厚度变化/弯曲度/ (ttv/bow)
< 15μm / < 15μm
微管密度(micropipedensity)
< 10个/cm-2
< 30个/cm-2
电阻率(resistivity)
导电(conductive)
0.01~0.03ω×cm
0.01~0.1ω×cm
半绝缘(semi-insulating)
> 105ω×cm
表面加工(surfacefinish)
both polished (si face: ra < 0.2 nm) orcustomerspecification
光电子领域
发光二极管（led）是利用半导体中电子与空穴复合发光的一种电子元器件，是一种节能环保的冷光源。sic材料具有与gan晶格失配小、热导率高、器件尺寸小、抗静电能力强、可靠性高等优点是gan系外延材料的理想衬底，由于其良好的热导率，解决了功率型gan-led器件的散热问题，特别适合制备大功率的半导体照明用led，这样大大提高了出光效率，又能有效的降低能耗。

---

哈尔滨特博科技有限公司
李红岩
13613627346
河鼓街3号