净化车间外观检查应符合：各种空气净化设备、静压箱要清洗干净，确保无尘；各种调节装置应严密、灵活、操作方便；各种管道、自动灭火装置及空气净化设备的安装应正确、严密、牢固；初、中、效空气过滤器与支撑框架的连接以及风管与设备的连接处应可靠封闭；净化车间内的各种刷涂、保温工程等应符合有关规定；净化车间的内墙壁、顶棚表面、地面应平整、光滑、不起灰尘、色泽均匀等；送、回风口及各类末端装置、管道、动力线配管、照明等穿越净化车间时，穿越处的密封处理应严密可靠。
垂直层流式方向要保持均一气流：
　　(a)吹出头具名的风速不可有速度上的差异；
　　(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速渡过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间
　　影响洁净车间的气流因素良多，如制程设备、职员、洁净室组装材、照明用具等，同时对于出产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。
　　洁净车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其四周之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少低；组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
物理式净化方式
1.吸附性过滤—活性炭　活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力 缺点：普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体，效率较低、易脱附。
2.机械性过滤—hepa网　hepa(high efficiency particulate air filter)，中文意思为效空气过滤器，达到hepa标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，hepa网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。hepa过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。

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