北京飞斯富睿科技有限公司
1. 2.45ghz，0~500w微波功率连续可调，可满足不同实验的要求；
2. ф50mm的石英管真空室，带有一个观察窗和一个诊断窗口，保证各种实验方便进行；
3. 石英管采用水冷却，可保证装置在高功率条件下安全运行；
4. 配置了3路气体管路，气体流量控制方便；真空测量系统及控制阀门可保证真空室所需的真空环境。
2 典型实验
1. 等离子体化学气相沉积
a（气）+b（气）→ c（固）+d（气）
反应气体a、b被激发为等离子体状态， 其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜氮化碳薄膜、碳纳米材料等。
2. 等离子体表面刻蚀
a（气）+b（固）→ c（气）
反应气体a 被激发为等离子体状态与固体b表面原子发生反应生成气态物c，可用于集成电路的刻蚀实验。
3. 等离子体催化反应
利用等离子体中丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基；高反应性的中性成分，如活性原子，受激原子态，从而引发在常规化学反应中不能或很难实现的化学反应。
4. 等离子体表面改性
a（气）+b（固）→ c（固）
反应气体a 被激发为等离子体状态与固体b表面发生反应生成新的化合物从而达到改变b物质表面性质的目的。可广泛用于高分子材料、金属材料及生物医用材料的表面改性实验。

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