非球面曲面超精密加工设备的研制成功是国内超精密加工技术发展的里程碑，非球面光学零件由于具有独特的光学特性在航空、航天、兵1器以及民用光学等行业开始得到应用，从而简化了产品结构并提高了产品的性能。当时加工设备只有美国、日本及西欧等少数国家能够生产，国内引进受到严格限制而且价格昂贵，国家从“九五”开始投入了人力物力支持研发超精密加工设备。到“九五”末期，北京航空精密机械研究所、哈尔滨工业大学、北京兴华机械厂、国防科技大学等单位陆续研制成功代表当时超精密加工最1高技术水平的非球面超精密切削加工设备，彻底打破了国外的技术封锁。之后其他各类超精密加工设备，如超精密磨削设备、小计算机数控磨头抛光设备、磁流变抛光设备、离子束抛光设备、大口径非球面超精密加工设备（如图1所示）、自由曲面多轴超精密加工设备、压印模辊超精密加工设备等也陆续研制成功，缩小了超精密加工技术国内外的差距。同时由于有了超精密加工设备的支撑，在超精密加工工艺方面也有了很大进展，如elid超精密镜面磨削工艺、磁流变抛光工艺、大径光学透镜及反射镜超精密研抛及测量工艺、自由曲面的超精密加工及测量工艺、光学薄膜模辊超精密加工工艺，超精密加工技术的应用领域也从军1工行业转向了民用行业。
微小孔加工技术
对于喷嘴、节流孔等零件微小孔加工，为提高小孔流量一致性及射流质量，采用微孔电火花加工、微孔光整、射流质量检测、环带工具磨（磨锥面保证环带尺寸及同轴）/研磨等技术，实现孔径公差0.01mm、环带同轴0.01mm、流量一致性±3%以内。微孔射流研磨与传统磨粒流加工原理大体相同，是将较小颗粒磨料放入一定黏度的液体中单向通过小孔，去除交叉孔处毛刺、使其圆滑过渡，提高内孔表面粗糙度，同时可实现小孔流量一致性控制.
这些企业基本上都是几个人到几十个人的小公司，说小作坊这也不过分，但离开了这些小作坊，安田、森、牧野这些世界知名的机械品牌就不能成立。日本经济这十几年都不景气，但这些从事手工制作滑动用平面的公司从来没有受到过影响，因为这种行业是制造业的最根本，需要高超的技术和丰富的经验，从来就只有不够，没有过剩的。特别是随着电子技术应用范围的不断扩大，对高精度加工机械设备的要求只会不断增长而不会减少。

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