sc100的分体式。
特点：（1）主机更小尺寸，可轻松放置于手套箱内操作。
         （2）更方便嵌入工作台面以下，降低操作高度。
         （3）控制盒可远离主机，使用更方便。
特性优点：
最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。7触屏控制面板操作系统，更方便操作。telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。 
主要性能指标：
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）旋涂程序：最多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec支持wafer尺寸1cm-200mm旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）设备尺寸  32cm w × 32cm d × 30cm h

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李先生
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西红门