乾曜光学开发的平面干涉仪，标准测试口径有φ100mm、φ150mm、φ200mm三种规格。
主要用途： 平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形的测量。
1、仪器规格参数表
产品型号 qy-p-100 qy-p-150 qy-p-200
类型 菲索型
测试口径 φ100mm φ150mm φ200mm
标准镜面形精度 λ/20 λ/20 λ/15
标准镜材料 熔石英（康宁7980）
光源 he-ne激光（632.8nm）
光路切换 对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换
标准配件 高分辨率黑白显示器（10寸）
供选配件 密封罩、衰减过滤片
仪器尺寸(长x宽x高) 350x280x800mm 380x300x1000mm 420x320x1000mm
仪器重量 75kg 80kg 100kg
电源 ac220v 50hz
（附注：更大口径平面干涉仪可依据客户需求定制）
2、仪器特点
精度高 标准镜精度高，且材料经过精密退火处理，稳定可靠；
调整方便 可通过切换开关选择对准与干涉场两种显示模式，方便调整；
条纹真实 可调节共轭成像位置，得到清晰、准确、真实的干涉条纹；
性能优良 仪器具备良好的隔振性能，适合光学加工现场使用；
配件丰富 选配简易密封罩，可将测试腔与外界气流隔离，降低测试过程中气流扰动，提高判断的准确性。

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