中高压型质量流量计和控制器 气体质量流量计 小流量气体流量计 微小气体质量流量计微小气体流量计ax10fc中高压型采用全不锈钢传感器，适合于测量各种与316不锈钢兼容的气体。ax10fc采用无热漂移，无响应滞后的差压质量测量原理，可以同时显示和输出：瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时，还可以加装电磁比例调节阀和内置pid调节功能。显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置，具有手操器/显示仪/积算仪的全部功能。通过面板操作，可以完成以下内容：气体选择、单位选择、量程设定，报警点设定，阀门状态、自动校准等。与热式流量计不同，当用气体转换系数时，v10fc没有附加的“比热容”误差。所以，即使测量气体与出厂时的标定气体不同，也不会影响测量精度。产品应用产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,环保及各种分析仪器等。产品特点● 通用型，适合10mpa以下各种气体测量 ●无热漂移，可以忽略的温移和时漂，长期稳定性0.1%f.s/年 ●准确度0.8%，量程可在100：1范围内按键设定，无需标定 ●瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出 ●无需预热，测量时无响应滞后 ● 内置31种气体转换系数，无比热容附加误差，不影响精度● 自动累计，分段累计功能技术指标
ax10fc-m/hc质量流量控制器
ax10fc-m/hc质量流量计
量程范围
小量程:5sccm～10slm 中量程:10slm～30slm 大量程:30slm～250slm
控制范围
控制器50：1
流量计100：1
准 确 度
流量：±0.8%读数±0.2%满量程
可选±0.4%读数±0.2%满量程
压力：0.5%f.s 温度：±1℃
线 性
±0.5%f.s
重复精度
±0.2%f.s
响应时间
100ms
10ms
数 字 量
rs232/485，modbus协议
模 拟 量
0～5v、4～20ma、1～5v
供电
12v/24v/±15v可选
工作温度
0～50℃
工作压力
工作压差：0.03～0.5mpa
工作压降：<0.01mpa
最大耐压
中压3mpa，高压10mpa
电气连接
db15孔
漏 率
1×10-9sccshe
温度系数
±0.015%f.s/℃
底座材质
316l
密封材料
氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶
接 头
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