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真空器件的密封有两种情况，一种是密封件把充满液态介质的某一容器与外部真空空间分割开。在这种情况下，密封件的主要作用是防止液态介质漏入真空空间。另一种情况是密封件把真空内腔与外腔分割开，它的作用是保持要求的真空度。这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体，真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。 真空器件所使用的机械密封在结构上并无特殊之处。对于上述的一种情况，通常是采用气密性好的金属波纹管型单端面机械密封。第二种情况则要用双端面机械密封，若使用单端面密封，势必存在密封端面不能获得润滑的问题。
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密封环是动环和静环的总称(下同)，是构成机械密封主要的元件。密封环在很大程度上决定了机械密封的使用性能和寿命，因此，对它提出了一些要求
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密封的金属零件，如弹簧、固定螺钉，传动件及金属套都可能成为密封失效的根源。受交变应力作用的弹簧受腐蚀是它的要问题，因为金属在应力作用下会迅速腐蚀，不绣钢弹簧易受化物的应力腐蚀，且世界上存在许多的化物，所以有国外部门建议，不要使用不锈钢弹簧，而推荐使用耐蚀性较高的哈斯特合金钢的弹簧。另外，装配不当造成弹簧疲劳是失效的又一原因。
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由于镀层材料与基体材料二者线胀速率不同，所以温度升高时，环表面会出现裂纹，司太立特合金尤为严重。在较高级的涂层材料中，钴基碳化钨不如基涂层。而对密封面进行冷却，能有效地防止热裂，残留在密封面上的固体微粒经常损坏表面，如磨削时砂轮上的砂粒就会损伤硬环表面，导致密封面打开或在密封面之间生成结晶物，而在重新研磨石墨环后，研磨料就会嵌入石墨环表面。
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