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Photonic-lattice 膜厚测试仪/椭偏仪

2018/11/18 10:54:07发布98次查看
  • 加工定制:
  • 类型:椭偏仪
  • 品牌:Photonic-lattice
  • 型号:SE-101
  • 测量范围:1
  • 格值:
  • 重量:
  • 适用范围:
  • 规格:

日本photonic-lattice公司成立于1996年,以日本东北大学的光子晶体的研究技术为核心,成立的合资公司,尤其是其光子晶体制造技术领先世界,并由此开发出的测量仪器。根据应用不同,我们特别开发出5款不同的的膜厚测试仪/椭偏仪,每一款产品各具不同的特点。
紧凑型桌面式椭偏仪  se-101
型号
se-101
重复性
厚度0.1nm,折射率0.001
测量速度
0.05秒/测量点
光源
636nm 半导体激光器
测量点
1mm
入射角
70度
测量尺寸
4英寸,
仪器尺寸和重量
250x175x218.3mm/4kg
数据接口
千兆以太网(摄像机信号),rs-232c
功率
ac100-240v(50/60hz)
软件
se-view
紧凑型桌面式椭偏仪  se-102
型号
se-102
重复性
厚度0.1nm,折射率0.001
测量速度
0.05秒/测量点
光源
636nm 半导体激光器
测量点
1mm
入射角
70度
测量尺寸
4英寸,1轴自动,2轴手动
仪器尺寸和重量
300x235x218.3mm/4kg
数据接口
千兆以太网(摄像机信号),rs-232c
功率
ac100-240v(50/60hz)
软件
se-view
快速映射椭偏仪  me-110
型号
me-110
重复性
厚度0.1nm,折射率0.001
测量速度
每分钟1000个点以上
光源
636nm 半导体激光器
测量点
0.5mm
入射角
70度
测量尺寸
6英寸
仪器尺寸和重量
650x650x1740mm/120kg
数据接口
千兆以太网(摄像机信号),rs-232c
功率
ac100-240v(50/60hz)
软件
se-view
快速映射椭偏仪  me-210 
型号
me-210
重复性
厚度0.1nm,折射率0.001
测量速度
每分钟1000个点以上
光源
636nm 半导体激光器
测量点
0.0055-0.5mm
入射角
70度
测量尺寸
6英寸
仪器尺寸和重量
650wx650dx1740h mm/120kg
数据接口
千兆以太网(摄像机信号),rs-232c
功率
ac100-240v(50/60hz)
软件
me-view
高速透明基板映射椭偏仪  me-210-t
型号
me-210-t
重复性
厚度0.1nm,折射率0.001
测量速度
每分钟1000个点以上
光源
636nm 半导体激光器
测量点
0.0055mm~0.5mm角
入射角
70度
测量尺寸
6英寸
仪器尺寸和重量
650wx650dx1740h mm/120kg
数据接口
千兆以太网(摄像机信号),rs-232c
功率
ac100-240v(50/60hz)
软件
me-view
高速,高解析度的表面分布测量;允许厚度分布的测量,例如,透明电极膜和取向膜与基底玻璃的透明基板。

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