ul1000fab干式氦质谱检漏仪产品简介：inficon ul1000fab干式氦质谱检漏仪，ultratest™ 传感器技术，稳定性和灵敏度的新疆界，检漏低达10-12 atm/css。产品详细ul1000fab干式氦质谱检漏仪  的详细介绍
inficonul1000fab干式氦质谱检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性，ul1000fab干式氦质谱检漏仪在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。
通过结合较高氦气吸气能力和高进气口压力的*真空结构，ul1000fab干式氦质谱检漏仪提供的前所未有的泄漏率低达。专利软件i-cal（智能泄漏率计算法）让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼，因为ul1000fab能够对所有泄漏率范围做出快速响应。
使用额外的tc1000测试盒配件，ul1000fab氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试，如ic封装、石英晶体和激光器二极管（根据mil-std843，方法1014）。
功能·                  15级的宽测量范围
·                  较短的抽气和响应时间
·                  移动式全金属外壳，增加了便利性，具有绝对可操作性
·                  i-cal确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间
·                  抑零功能和自动积分时间校正，可提供快速、可靠的测试结果
·                  含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计，提供较高氦气吸气能力和高压缩比
·                  旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互
·                  自保护功能可防止ul1000fab氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染
·                  自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试
·                  通过电子邮件进行软件更新
·                  含两个灯丝离子源（3年质保）的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本
·                  内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果
典型应用·                  对半导体加工工具执行维护作业，无论是否具有自有泵支持
·                  需要较高吸气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用
·                  在现有工具中安装前对部件执行检漏
·                  工艺气体系统的检查和安装
·                  内置软件菜单“自动测漏”功能可使用tc1000测试盒执行密封组件的自动测试

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张小力
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