300 - d系列质量流量仪器,量程从0-5 sccm至0-3,000slm;使用全金属密封,提供模拟输出,且采用不锈钢构造。质量流量控制器为常闭阀门。腐蚀性气体(除卤素外),压差达1000 psig中(选项)可轻松测量。传感器,阀门和流量过载等自我诊断功能都包括在数字特征里面。同样值得关注的是自动归零特点,当发现阀门关闭时会自动重置零点。此系列质量流量计和控制器,最多可以存储10个不同的量程范围和气体的校准数据。当测量同数量级(流速,分子量)不同的气体,改变气体时,本仪器具备经济优势和更高效率。另一个特点是内置的累加器,用于监测用户设置的条件下气体损耗量。 特征: •+/-(0.5%读数值+0.2%满量程)为0 - 2,500slm •经验证的可靠性 •量程5 sccm至3,000slm(氮气) •nist可溯源校准 •内置积算器 •自动归零 应用: •大学研究 •泄漏检测 •气相沉积 •制药制程 •研发和制程流量 •半导体工艺 •气体混合 •热火焰喷涂 •真空应用中的关键配件 300-d系列质量流量计和控制器规格(基于氮气) 标准温度和压力- 0 ° c和760torr[table] [tr] [td] 规格 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-300 hfc-d-302 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-301 hfc-d-303 [/td] [td] 质量流量计控制器 hfm-d-305 hfc-d-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 使用手册 [/td] [td] hfm-d-300/ hfc-d-302 [/td] [td] hfm-d-301 / hfc-d-303 [/td] [td] hfm-d-305 / hfc-d-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 量程[/td] [td] 0-5 sccm 到 0-25,000 sccm [/td] [td] 0-25 slm 到 0-1000 slm [/td] [td] 0-1000 slm 到 0-3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 精度 [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2%满量程) [/td] [td] +/- (0.5% 读数值 + 0.2% 满量程) +/-2% 满量程for 2,500 - 3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 重复精度 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [td] +/-0.1% 满量程 [/td] [/tr] [tr] [td] 标准工作压力[/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(约3.4mpa) [/td] [/tr] [tr] [td] 压力系数 [/td] [td] +0.01%/psi(约6800pa)读数值 (0-50 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.01%读数值/ps(约6800pa)i (0-1000 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.015%/psi(约6800pa)(0-500 psig n2) [/td] [/tr] [tr] [td] 耐压选项 [/td] [td] 1000 psig (测试达到1500 psig) [/td] [td] 1000 psig [/td] [td] 无 [/td] [/tr] [tr][td] 温度系数 [/td] [td] 零点

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