ya-1型氩气纯化装置
◆ 工作原理
ya-a型高纯氩气纯化装置采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂,在一定的温度下,吸气剂可与氩气中的微量杂质o2、n2、h2、h2o、co、co2、ch4等等形成稳定的化合物或固溶体,从而达到对氩气精制的目的。
◆ 主要技术指标
杂质要求:
杂质 n2 o2 co2 ch4 露点
含量ppm <100 ≤15 <5 <5 -50℃
处理气量:1m3/h
工作压力0.2-0.4mpa
纯氩纯度:
杂质 n2 o2 co2 ch4 露点
含量ppm ≤0.2 ≤0.2 ≤0.5 ≤0.5 -70℃
含尘量 ≤3.5颗/升(对于粒径≥0.5μm尘埃)
3.净化剂寿命:每炉可处理99.99%的氩气2500-3750m3
4.操作温度:700-740℃
5.外形尺寸:宽450*深760*高1457mm
6.电源:-50h 220v
7.功耗:1.2kw
8.重量:≈120kg
◆ 特点
本装置净化器采用特殊结构,具有接触面积大,阻力小,净化效率高,热功损耗小等优点。本装置可与区熔硅单晶炉配套使用可用于激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。
苏州瑞泽气体净化设备有限公司
15190055548
中国 苏州