ns是一款用于线性测量的超精密干涉编码器测量系统。它可以避免激光干涉仪经常会遇到的湍流效应,同时提供纳米级可重复性和分辨率。ns兼容大多数现有的设计平台。
概述
ns传感器是一款采用二极管光源的高精密的电子设备。它用三相90-element的探测器通过扫描方式捕捉第一阶的激光通过衍射方式反射过来的信号,经过高度准确的插值方法和编码器对反射不敏感的条件下,这三个信号提供一个非常明确的测量相位。
应用领域
◆
高精度低成本的位置控制;
◆
实时校准;
◆
精密金刚石车削实验室;
◆
镜头自动对焦;
主要特点
◆
亚纳米的分辨率;
◆
高速;
◆
对湍流和大气压力的变化不敏感;
◆
重复性≤5nm;
◆
兼容性好,不需要更换主要设计就可以替换现有的计量系统;
◆
占地面积小,重量轻;
◆
可选真空版本;
◆
对准误差低;
◆
完善的技术支持;可定制;
推荐产品
ng-b二维精密计量纳米编码器
ng-a高分辨率纳米编码器
技术规格安装尺寸ns-a 系统性能 重复性 ±5nm 精度(175mm×175mm)* ±200nm 精度(380mm×380mm)* ±1.0μm *(温度变化±0.25℃) 最大速度 700mm/s 编码器到探头间距 3.0±0.1mm 尺寸 最大380mm 工作温度 +10°c~+40°c 存储温度 –20°c~+50°c ns探头 外形尺寸 61mm*33mm*17mm 外壳材料 6061-t6铝 光源(785nm) classiiib,3mw,激光二极管 重量(不包括线缆) 70g 接口线缆 18色带 9针d型连接器 高分辨率处理器板 分辨率 lsb =5μm ÷ 2 14 ≈0.305 nm 更新频率/轴 375khz(并行输出) 范围 ~1300mm(全部32位) 数据传输时间
深圳市华旭科技有限公司
江山
13312971170
沙河世纪中心F座607