采用海克斯康集团的核心技术；先进的全铝技术，极佳的刚性/质量比，保证高性能和高精度；x向横梁采用超高精密三角梁（tricision）技术，相比矩形横梁，重心更低，质量刚性比最佳，运动更加可靠，该领先技术受到专利保护；y轴采用整体燕尾式导轨，在降低机器重量的同时，有效消除了运动扭摆，保证了测量精度和稳定性；z向采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性；三轴均采用德国heidenhain光栅尺，系统分辨率可达0.078μm，同时采用一端固定，一端自由伸缩的方式安装，减少了光栅尺的变形，保证在温度变化时的线性伸缩；各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带，确保运动的平稳和准确定位；采用海克斯康为croma专业打造的idc-1控制系统，21项误差空间修正技术和自动调谐功能，保证了机器的动态性能和测量精度；

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黄远扬
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