扩散石英舟上下料机厂家设备特点:
1上下料一体化设计节约了工人搬运石英舟及塑料硅片承载盒的劳动强度,篮具在上下料的过程中紧凑相连,循环利用,提高整机的工作效率。所有入篮及入石英舟结构均采用耐磨耐高温自润滑结构稳定之材料导向。高精密叉子托附,依靠硅片自身重
力入篮或入舟。大大降低了碎片率以及对载具的高精度要求
2机器重要环节采用激光传感器精 确定为,一旦运转偏离位置,机器自动补偿矫正。既提高了稳定性,又提升了速度
3真空吸盘采用精密耐高温陶瓷结构,不变形、无污染、娇片叉子采用高精度复合材料。
扩散石英舟上下料机厂家
东莞市启天自动化设备股份有限公司
罗先生
13929208059
广东 东莞 樟木头镇 广东省东莞市樟木头镇樟洋工业区富竹二街8号