技术参数
型号
rs290c
rs295c
rs380c
rs385c
rs390c
rs395c
机台结构
一体式
-
-
●
●
-
-
分体式
●
●
-
-
●
●
气浮回转轴系
一级精度(0.025+0.0002h)μm
○
○
○
○
-
-
二级精度(0.05+0.0003h)μm
●
●
●
●
-
-
三级精度(0.1+0.0005h)μm
○
○
○
○
○
○
四级精度(0.15+0.001h)μm
○
○
○
○
●
●
承重23kg
●
●
○
○
-
-
承重43kg
○
○
●
●
-
-
承重65kg
-
-
○
○
●
●
回转直径260mm
●
●
-
-
-
-
回转直径320mm
○
○
●
●
-
-
回转直径600mm
-
-
-
-
●
●
转速
1.5-8转可调
立柱系统
行程
220mm
320mm
620mm
电动驱动
●
●
●
●
●
●
钢制立柱体
●
○
●
○
●
○
大理石立柱体
○
●
○
●
○
●
光栅分辨率
1μm
0.5μm
0.5μm
1μm
0.5μm
直线度
0.3μm/100mm
0.3μm/100mm
0.2μm/100mm
0.5μm/100mm
立柱对轴心线平行度
0.5μm/200mm
0.5μm/320mm
1μm/320mm
5μm/620mm
横向系统
光栅分辨率
-
0.05μm
-
0.05μm
-
0.05μm
电动驱动
○
●
●
●
○
●
手动驱动
●
-
-
-
●
-
传感器
电感传感器
量程
600μm
最小分辨率
0.01μm
圆周采样点
4096点/圈
8192点/圈
8192点/圈
16384点/圈
4096点/圈
8192点/圈
附件
精密调心调平工作台φ150
●
●
○
○
-
-
精密调心调平工作台φ180
○
○
●
●
-
-
精密调心调平工作台φ240
-
-
○
○
●
●
标准玻璃半球
●
●
●
●
●
●
定标块
●
●
●
●
●
●
直径标准件
-
●
-
●
-
●
精密二号卡盘
○
○
○
○
-
-
精密三号卡盘
●
●
●
●
○
○
精密四号卡盘
○
○
○
○
●
●
测针φ2
●
●
●
●
●
●
测针φ1
○
○
○
○
○
○
测针φ4
○
○
○
○
○
○
备注：● 代表标配   ○ 代表选配 - 代表不可选

---

昆山英昊达精密设备有限公司
印先生
15006263076
江苏昆山柏庐路401号4-017