气体质量流量控制器mfc3100v
气体质量流量控制器mfc3100v，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制mfc3100v是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。
气体质量流量控制器mfc3100v产品亮点：
-类    型：mfc气体质量流量控制器
-控制范围：30slpm ～ 125slpm  (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分) 
-准度等级：±1% f.s
-耐    压：≤70bar
-标准接口：0-5vdc，4-20ma可选
-响应时间：≤2sec
-使用范围：2~100% for max range
-供电电源：+15~+28vdc, 350ma
-漏    率：1×10-9atm•cc/sec
-气路连接：1/4”swg，1/8”swg，3/8”swg，1/4”vcr
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）
-无需温度、压力补偿
气体质量流量控制器mfc3100v
产品型号 mfc3100v mfc3100a
  流量范围 (n2) 30slpm ～ 125slpm  30slpm ～ 125slpm
  响应时间  ≤2秒  ≤2秒
  准确度  ≤±1% 满量程  ≤±1% 满量程
重复精度  ≤±0.25% 满量程  ≤±0.25% 满量程
输出输入信号  0~5vdc  0~5vdc或4~20毫安
  供电  +15~+28vdc，350毫安  +15~+28vdc，350毫安
  耐压    ≤70 bar  ≤70 bar
工作环境温度  0~50 °c  0~50 °c
应用领域：
－分析仪器    －干刻（rie/drie）    －燃料电池
－生物技术    －气相色谱分析        －等离子刻蚀
－激光焊机    －混气配气系统        －微反应装置
－真空镀膜    －过程自动化          －石化工业