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型号1000-180-VT-RTP

 rtp快速升降温退火炉 mxg1200-100-sl-rtp
   开启式rtp快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径100mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30℃/s，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的。
技术参数
项目  主要技术指标  数据
规格型号  mxg1200-100-sl-rtp
温度控制  温度点  1200℃
额定温度  1100℃
稳定状态温度范围  200-1050℃
温度测量精度  ±0.2℃
温度控制重复性  ±1℃
温度控制精确度  ±1℃
温度均匀性  ±2℃
温度状态工艺时间  7-32 s（200-1050℃）
***快升温速率  30℃/s（可按需定制）
降温速率  1-200℃（将试样移出加热区域或通氮气可加快降温）
温度控制模式  智能模糊pid全闭环控制
触摸屏  尺寸  7寸lcd 工控
物理指标  功率  18 kw
额定电压  ac380v，50/60hz
测温元件型号  k型热电偶
石英管规格  φ100*1500
真空度  选配分子泵真空度可达4*10-3pa
抽气端口尺寸  kf25或φ6mm
进气端口尺寸  φ6mm
冷却方式  自然冷却或强迫风冷n2或压缩空气：2psi（0.14kg/cm2）– 7psi（0.5kg/cm2）
外形尺寸  深500*宽1520*高620
设备重量  80kg

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昆山艾科迅机械有限公司
符先生
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