技术参数型号 excel651um excel651uc excel652um excel652uc excel654um excel654uc
量测行程  650x650x160mm 650x650x250mm 650x650x400mm
外形尺寸 1311x1604x1608mm  1311x1604x1788mm 1311x1604x2088mm 
重量  1530kg  1550kg  1550kg 
承载重量  100kg  100kg  100kg 
平臺材质  钢构 
基座材质  花岗岩 
传动方式  unique x&y monorail, monorail linear z
电控系统  伺服系统: cnc, 滑鼠, 摇杆 
电源系统  93-264 vac, 47-63 hz,最大10 amp 
xy 精度  uxy=2.5+l/300μm uxy=2.8+l/300μm uxy=3.2+l/300μm
z 精度  ux=2.5+l/150μm ux=3.0+l/150μm ux=3.5+l/150μm
xy 重现性  2.5μm 2.8μm 3.2μm
z 重现性  2.5μm 3.0μm 3.5μm
xy 加速度  1000mm/s2
z 加速度  500mm/s2
xy 移动速度  500mm/s
z 移动速度  150mm/s
光学尺解析度  0.1μm
影像  黑白  彩色  黑白  彩色  黑白  彩色 
光源  红光led 白光led 红光led 白光led 红光led 白光led
照明系统  表面光, 轮廓光,同轴光 
光学系统/放大倍率  12x 光学/2.5x 数位 zoom / 15x~1200x 放大倍率 
软体  inspec for windows metrology software(2000/xp/vista)
工作环境  20℃(68℉)±2°,30-80%湿度

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周
15811420125
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