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科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。一台微型电子计算机的售价,也只不过数百元人民币。这样就为电子计算机进入千家万户铺平了道路。使我们的生活越来越现代化。当然8寸蓝膜片晶圆,芯片给家庭带来的变化还远不止于此,随着电子化家庭的增多,一种新的生产生活方式--“家庭工业”和“家庭办公室”正在产生。将来,坐在家里操作机器、指挥生产、管理公司和工厂,将成为为期不远的现实。说起硅,我们就不得不提下中国赛维了!赛维动态世界最大的太阳能硅片生产商——江西赛维ldk太阳能高科技有限公司2008年9月20日宣布,公司已于前一天在美国成功增发480万股美国存托股份(ads),发行价格为41.75美元,募集资金2亿美元,主要用于多晶硅工厂和硅片工厂的扩建。据悉,赛维ldk将使用此次发行净收益的60%用于支持公司多晶硅工厂的建设,30%用于扩大多晶硅片产能整张8寸蓝膜片回收,10%用于一般性企业活动。此外,有利于光伏行业的健康发展8寸蓝膜,有利于光伏产品走进千家万户。”
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由热氧化法生成sio2 缓冲层,用来减小后续中si3n4对晶圆的应力氧化技术:干法氧化si(固)+o2 àsio2(固)和湿法氧化si(固)+2h2o àsio2(固)+2h2。干法氧化通常用来形成,栅极二氧化硅膜,要求薄,界面能级和固定电荷密度低的薄膜。干法氧化成膜速度慢于湿法。
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