该系列设备主要集直流磁控溅射，电弧离子蒸发两种技术融合一体，结合线性离化源及脉冲偏压镀膜可使沉积颗粒细化膜层各项性能提高，能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。
腔室配有真空取样机械手，可在系统工作状态下，进行被镀样品的拿取和手动控制镀膜情况。
系统可选择性配备孪生中频脉冲电源或双电源输出（直流和射频电源间歇工作，以此来保证基材的结合力和镀膜性能）。也可选择使用上下可调节升降孪生靶机构（可调整靶与基材之间的间距以保证实验结果的完美性能
郑州中微真空机械有限公司生产各类真空镀膜机、真空腔体、真空机组、实验室真空系统、真空阀门、以及真空管路配件。产品主要应用于科研、镀膜、太阳能、医药、冶金、化工等诸多行业。
真空镀膜机有：pvd、cvd、pecvd、mocvd等各种类型。
真空机组系统有：低真空机械泵机组系统、高真空分子泵机组、高真空油扩散泵机组、高真空冷泵机组、超高真空离子泵真空机组和实验室用各类真空试验系统。
真空阀门有：超高真空插板阀、超高真空挡板阀、高真空挡板阀、高真空蝶阀、高真空球阀、真空微调阀和电磁真空带充气阀等。阀门驱动方式有：手动、气动、电动和电磁驱动等多种方式。阀门口径从5mm~600mm不等。适用温度范围：-30℃——400℃，适用压力范围正常气压到1.0*10^-7pa。
真空腔体按照客户给订尺寸加工成型，或有我公司按照客户要求代为出图加工成型。出厂漏率优于5.0*10^-7pa.l/s
真空配件有：真空波纹管、真空三通、四通、短接头、焊接法兰、盲法兰、管接头、卡箍、无氧铜垫圈等各类真空管路连接件。
我们的宗旨，质量第一，信誉至上。质量严格把控，我们不做最好，只做更好，希望我们的产品给您带来微笑。

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