品牌EMS	规格型号片
生产厂家美国EMS

超平硅片（afm、sem用硅片）
常作为afm基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：
4"
6"
8"
直径
100 mm
150 mm
200 mm
向性
级别
p/boron
p/boron
p/boron
growth method:
cz
cz
cz
电阻率
10-20 ohm-cm
10-20 ohm-cm
10-20 ohm-cm
厚度
525?m ±20?m
675?m ±20?m
725?m ±20?m
ttv:
<4.00?m
<4.00?m
<4.00?m
sfpd:
<2.0?m
<2.0?m
<2.0?m
warp:
≤30?m
≤30?m
≤30?m
bow:
≤30?m
≤30?m
≤30?m
微粒数
≤20@≥0.3?m
≤20@≥0.3?m
≤20@≥0.3?m
正面front surface
polished
polished
polished
背面back surface
etched
etched
etched
平整度flat:
2 per semi standard
1 per semi standard
2 per semi standard
site flatness:
<2.0?m
<2.0?m
<2.0?m
粗糙roughness
typically 2-3?
typically 2-3?
typically 2-3?
产品选购：
货号
产品名称
规格
71893-01
ultra-flat silicon wafer, 4"
1片
71893-02
ultra-flat silicon wafer, 6"
1片
71893-03
ultra-flat silicon wafer, 8"
1片

---

海德创业（北京）生物科技有限公司
张女士
010-52571502
北京 海淀区 北京回龙观西大街龙冠大厦410