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扩散炉炉膛

2018/9/13 9:53:52发布80次查看
加工定制品牌CL-炉膛
型号晨立炉体用途扩散炉炉体

一、炉体材料:
★   炉丝:φ8~φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。★   绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。★   保温棉: 采用英国摩根公司生产的高温保温材料。★    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。★    热偶座:进口弹簧卡状固定座。★    把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。 二、炉体参数:
★     工作温度:   ≤1300℃★      恒温区长度: 500mm-1000mm★    炉体内径:   φ90~φ360 mm(3~12英寸)★   规范使用:   寿命可达20个月以上(1200℃)★   替代进口:   全方位配套三、应用:
      青岛晨立电子有限公司生产的扩散炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国tempress、thermco,荷兰asm,英国btu等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理3~12英寸硅片的扩散炉、太阳能电池片扩散炉

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