型号
spectra bench optical
spectra floor optical
量测行程
300x150x75mm
300x150x75mm
外形尺寸
950x1075x1025mm
950x1075x1775mm
重量
114kg
146kg
承载重量
9kg
平台材质
钢构
传动方式 x&y
steel balls and rods
xy 精度
ux=2.5+l/25μm ，uy=2.5+l/15μm
z 精度
u=2.5 μm
xy 重现性
12.5μm
z 重现性
7.5μm
光学尺分辨率
2.0 μm
影像
14’’ erected, bright and sharp
光源
轮廓光,表面光
镜头/放大倍率
10x, 20x, 31 1/4x, 40x, 50x, 100x
量测系统
q16 metrology box 或 optional inspec software
工作环境
20℃±2°, 30-80% 湿度
电源系统
110 或 220 vac

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