机器测量范围 图片 bitmap bitmap
机型 c1600g-12 s1400g-12
　 轮廓仪 粗糙度仪
z轴（纵方向） 50mm ±400μｍ
x轴（横方向） 100mm 100mm
精度 z轴指示精度 ± 0.25% 全量程、±4μm/5mm -
测定分辨率 0.1μm/5mm,0.4μm/20mm,1μm/50mm 800μm/0.01μm – 25μm/0.004μm6.4μm/0.0001μm（选配高倍率传感器）
x轴指示精度 ±(1+0.02l)μm l为测量长度(mm) -
测定分辨率 0.1μｍ 100mm/0.04μｍ 或32,000点
直线精度 1μｍ/100mm (0.05 + 1.5l / 1000) μm l=测量长度 (mm)
记录 纵倍率 0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择） 50--500,000倍（可任意选择或自动选择）
横倍率 0.01--10,000,000倍（可任意选择或自动选择） 0.1--20,000倍（可任意选择或自动选择）
速度 立柱上下（电动） 3--10mm/s 3--10mm/s
驱动速度（x轴） 0.03--6mm/s 0.03--6mm/s
测量速度（x轴） 0.03--6mm/s 0.03--6mm/s
传感器 z轴（纵方向） 差动变压 差动变压
x轴（横方向） 光栅尺 光栅尺
最小测量距离 0.1μｍ ？
最大测量点数 100,000点（最多10形状） 32,000点
测针半径 25μｍr 2μｍr
测针材质 超硬合金 金刚石
测量力 30mn以下 0.75mn
测量方向 左、右 向右
测量形式 上、下 -
粗糙度，轮廓形状复合机。
特点1
东京精密公司的综合测量机，配备了tims系统。图标式的简单粗糙度、轮廓画面切换，并可将测量结果在同一页面综合输出打印。（粗糙度/轮廓）
特点2
机器配备了ai智能判别系统。机器可以自动设定测量条件并自动进行测量。（粗糙度部分）
特点3
可自动记录操作功能并进行回放。驱动部可自动记录测量、评价、数据分析的全过程，并可重复自动运行。（粗糙度/轮廓）
特点4
机器中包含有自动的图形判定功能。点、直线、圆等不指定也可自动进行判断。（ai智能判别）（轮廓部分）
特点5
尺寸线标注功能。参数、几何偏差的实测值都可以直接标注在输出的图形上。（轮廓部分）
特点6
几何形状合成功能，解决了由于测针角度而产生的分析范围受限制的问题。

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林蔚
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