tetra-100-lf-pc等离子清洗/刻蚀机
1.外形尺寸
w2000mm × h2000mm × d2000mm
2.真空舱
w700mm × h200mm × d700mm
舱体容量约 100升
3.供气系统
mfc 3气体通路
4.射频频率
40khz射频发生器,功率连续可调,自动匹配
5.控制系统
计算机(pc)控制
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深圳市傲内电子有限公司
史春林
13632951814
深圳市宝安区石岩镇台湾工业区三重大厦B栋2楼