产品信息 ox400可用于控制和监视各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及lcd制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度。
主要技术参数：
测量对象
惰性气体中的氧气浓度
(易燃性气体、腐蚀性气体或液体(包括水蒸气)除外)
测量系统
氧化锆系统
采样方法
泵式、抽提式等
样气条件
流速：200±25ml/min(仅适用于传感器)
温度：0～50℃(无结露)
湿度：无结露
压力：0～300pag
最大容许压力：30kpag
测量量程
0～10ppm o2至0～100vol% o2
输出量程
自动：
0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～100%(默认)
固定：
设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～100%
部分：
可设置下限值或上限值
模拟输出
2路输出，第一路：4～20madc(最大负载电阻550ω)，第二路：可选为0～1，0～5，0～10v dc(负载电阻：10kω或更大)
接点输出
报警输出2点：
错误接点，o2浓度报警接点
指定量程范围输出1点：
接点输出
多选择器(选配件)：
流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出
接点输入
1点：采样气体吸入泵的远程on/off
自诊断
故障：
传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，cpu错误，fan停止
报警：
加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，o2浓度上/下限，超限
串口通信
rs-232，38400 bps
标定方法
(1)3点：10ppm，1000ppm，空气，(2)2点：可设定为零点气和量程气标定，(3)1点，(4)空气标定
暖机时间
20分以内
电源
100～120v ac/220～240v ac，50/60hz
功耗
100～120v ac，200va 最大，220～240v ac，400 va 最大
尺寸
213 (w) x 132 (h) x 约375 (d) mm
质量
约5kg
管线连接
气体入口：rc1/4或1/4npt内螺纹
气体出口：rc1/4或1/4npt内螺纹
环境条件
安装条件：
室内，盘装或壁装，非易燃区域
环境温度：
0～40℃，无结露
环境湿度：
5～85%rh
储存温度：
-5～50℃
重复性
±1%f.s.(10，100，1000 ppm，1%，10%或100%)
线性
±2%f.s.
±3%f.s.(0～100ppm或更低)
响应时间
90%响应
10秒内(0～1%或更高)
30秒内(小于0～1%)

---

上海晖盈实业有限公司
徐智
13917428890
上海市漕宝路3158弄1号1304室