m-nanocoord
细微形状测量系统
特点
• 能精确测量微小表面的形状(如mems 产
品、 电气设备、精密模、阳模、球面透镜
等)。
• m-nanocoord 系列的每一型号均包含一台
最新开发的超高精度主机。
•m-nanocoord 系列的每一型号均包含一个
作为标准配件的视像测头。
• 除了标准的视像测头之外，还可安装第
二测头。
两种测头可供选择
极低测力扫描测头，特别适用于非损伤地
测量软质工件；
极小测头的接触式测针umap103，特别适
用于测量微孔。
技术参数
测量范围
x 轴: 200mm
y 轴: 200mm
z轴: 100mm
精度: (0.2+l/1000)μm
l 为测量长度(mm)
结构
x 和 y 轴: xy 表面导向
z 轴: 滑动架和固定心轴
导向方式: 液压轴承
驱动方式: 摩擦驱动
长度标准杆:激光全息测微计
照明系统: 表面照明
程控环形照明

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武汉顿杰测量仪器有限公司
陈小姐
13995533040
武汉经济技术开发区新都国际C座二单元602室