- 加工定制：
- 品牌：MRC
- 类型：
- 提供加工定制：是
- 型号：943
- 别名：
- 适用范围：
- 炉膛最高温度：
- 工作温度：
- 装载量：
- 工作室尺寸：
- 外形尺寸：
- 规格：
1、设备名称：mrc943真空溅射镀膜机
2、设备品牌：美国mrc
3、设备规格：mrc943
4、设备介绍：
mrc943采用独特的卧式结构设计及特殊结构的阴极，可实现高溅射，膜厚均匀性和高靶材有效使用率，从研发应用到大批量生产，可沉积介质膜、金属膜等，主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。
本系统可分为预真空室、溅射区域、rf离子清洗，预真空室具有基片承载盘升降机，使得装卸基片和溅射工艺同时进行，从而实现 “in-line”连续在线工作方式。12”x12”尺寸的基片承载盘，可放置不同尺寸及形状的基片。9个4” 基片/次，6个6” 基片/次，1个12” 基片/次。
深圳市昊光机电科技应用有限公司
王明
13631617125
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