里其乐真空泵叶片
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表i一7给出的是用不同抽气系组抽气的小型超高真空系
统中，用不同质诺计分析测量出的系统的总压强和分压强值。
由表中可清楚地看出，整个数据也是符合分压强定律的。比如，
用溅射离子泵加低温冷凝泵泵组抽气的系统，m90。磁偏转质谱
计测量它的总压强是o．3xlo‘’托，各种气体的分压强分别为：
h s——0．2×10—l’托，he——0．02×l o—l’托，ch‘——d．0l×10—：：
托，n 2—0．05×10—“托(包括c0的分压强)，ar一0．01×10·l’
托。各个分压强值的总和是o．29xlo““托，  近似于总压强
o．3xlo‘’托。略有误氮这是由于仪器的灵敏度等因素决定
的。
    在真空技术中，不仅会遇到气体，
的蒸气。
    气体和蒸气有什么区别呢2
    通常我们把物质的临界温度作为判断气态物质是气体还是
蒸气的标准。因为当物质高于临界温度时只能处于气态，不能
压缩使其液化。我们就把高于临界温度的气态物质称为气体，
低于临界温度的称为蒸气。
    从附录十三列出的气体性质表中可以看出，在15—25℃范
围内变化的室温远远超过了筑、包、氖、氮、氧、员、氨等这
些物质的临界温度，故称它们为永久气体。空气临界温度是
一140℃，同样属永久气体。但象流、一氧化碳的临界温度接近
室温，就不能当永久气体了。水蒸气、水银蒸气和在真空技术
中常温到的一些油类蒸气，它们的临界温度远超过室温，故称
蒸气，当然金属蒸气更届这一类了。这些蒸气在真空系统中占
里其乐真空泵叶片

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张先生
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