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匀胶机/旋涂仪EZ6

2018/8/21 12:36:26发布113次查看
加工定制品牌Schwan
型号EZ6产品适用范围1cm-150mm
测量范围100-12000rpm电源220
工作电压220V外形尺寸 358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)

 
应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
easycoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。ez6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
ez6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
该款产品已在老款型号上进行了升级,外型进行了变化,转速及加速度得到了提高,真空腔进一步改善从而不易堵胶。
产品性能参数:
?支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)
?速度可调范围:100-12000rpm
?加速度可调范围:100-30000rpm/s
?单步旋涂时间:3000s
?时间分辨率:0.1s
?转速分辨率:1rpm
?可编程10组10步程序
?宽电压输入:ac100-230v,中英文界面可选
产品特性优点:
?100w 直流无刷电机,单片机控制
?4.3”全彩触摸屏,简单易用
?系统中英文界面可转换
?带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能
?hdpe 内腔,sus 外壳,耐溶剂pc 透明盖
?真空互锁及盖子开关互锁安全功能
?防堵胶功能设计(双真空腔设计)
产品外型尺寸:
  358mm(d)*256mm(w)*258mm(h)

上海玲发机电设备有限公司
尤先生
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