真空计(vacuumgauge),c真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。真空计可分为绝对真空计和相对真空计两大类。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计,这种真空计测量精度较高,主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、粘滞性和应变等)与压力的关系间接测量,其测量精度较低,而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。
利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼(pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
它能直接读出被测压力,使用方便,在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105~10-11帕,甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空(105~102帕)、低真空(102~10-1帕)、高真空(10-1~10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到极高真空(小于10-10帕)的全范围测量,因而有多种真空计。最常用的有u形管真空计、压缩式真空计、电阻真空计和冷热阴极电离真空计。
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姬小龙
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